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溅射靶材的种类
2020-7-10 10:14:53

 溅射靶材的种类相当多,即使相同材质的靶材又有不同的规格。

根据形状分为长靶,如ITO 靶材(1400×900×6 已焊接) 、方靶如ITO 靶材(300 ×300 厚度可按用户的要求) 、圆靶如Fe63Dy29 Tb8 靶(Φ75 ×10) 、Fe54 Tb46 (Φ75 ×10) ;

根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材。陶瓷化合物靶材根据化学组成不同可分为氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等陶瓷靶材,根据应用领域不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等。溅射靶材按应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、其他靶材。


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